山东阳谷恒晶光电(sycco-optics)深耕精密光学薄膜器件研发与量产,针对近红外精密检测、智能传感及光学成像场景,推出高性能850nm窄带通滤光器。该款光学滤光片依托精准的光谱镀膜工艺,实现窄波段高透、宽波段深度截止的光学特性,能够精准筛选目标光谱信号,有效屏蔽环境杂散光与波段干扰,是机器视觉、生物检测、光电传感系统的核心配套光学元件。
大面积脉冲激光沉积系统
分类: 激光器模块和系统
厂家: Neocera Inc
产地: 美国
型号: Large-area Pulsed Laser Deposition Systems
更新时间: 2026-02-10T08:00:53.000Z
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Neocera的大型脉冲激光沉积系统用于在各种基板上沉积高质量薄膜,支持最大直径为8英寸(200mm)的晶圆。该系统结合基板旋转和激光束扫描技术,确保整个晶圆区域的厚度均匀性。
概述
参数
- 晶圆尺寸 / Wafer Size : 4英寸(100mm), 6英寸(150mm), 8英寸(200mm)
- 样品室尺寸 / Chamber Size : 18英寸球形或圆柱形
- 基础真空 / Base Vacuum : 5×10^-7Torr标准, 5×10^-9Torr升级
- 基板加热温度 / Substrate Heating Temperature : 850°C(4英寸晶圆), 750°C(6英寸晶圆), 700°C(8英寸晶圆)
- 靶材转盘尺寸 / Target Carousel Size : 4×2英寸
- 厚度均匀性 / Thickness Uniformity : ±5%或更好
- 工艺气体 / Process Gases : O2, N2, Ar(MFC控制)
- 装载锁 / Load-Locks : 包含
- 自动化系统 / Automation System : Windows 7, LabView 2013
应用
1. 沉积外延薄膜 2. 制备多层异质结构 3. 制备超晶格结构
特征
1. 支持氧化物薄膜的高温沉积 2. 自动激光束扫描确保厚度均匀性 3. 支持多种晶圆尺寸
图片集
规格书
厂家介绍
Neocera由Venkatesan博士于1989年创建,是一种商业工具,用于利用脉冲激光沉积(PLD)技术输送复杂多组分金属氧化物薄膜材料的技术专业知识。我们继续开发PLD设备和工艺,为客户带来高价值的产品。我们仍然积极参与材料研究,领导PLD在新材料系统中的应用,并直接参与PLD工艺从研究实验室向工业市场的过渡。我们在2001年将脉冲电子沉积(PED)作为PLD的补充技术。我们的使命是成为研究人员和制造商PLD和PED设备的较好选择。我们的PLD\/PED系统可在全球30多个国家的大学、国家研究实验室和企业研发中心找到。
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光纤类型: 9/125 光纤类型: 9/125 光纤类型: 50/125, 62.5/125 or 105/125
The SLS-1XX series of fixed light sources is a highly configurable benchtop system offering many different options for light sources. Three versions are available: the SLS-100, a fixed bank of up to 24 discrete LED or laser sources that can be mixed and matched with different source types, wavelengths, or fiber types in one box; the SLS-110, a switched optical source with internal sources that can be combined and switched at the output, enabling combined wavelengths (e.g., 24 channels with 1310/1490/1550/1625 nm) out of many ports; and the SLS-120, a fixed bank of light sources dedicated to CWDM DFB laser sources covering all ITU-T G.694.2 channels from 1270 to 1610 nm (20 nm spacing) with standard 1 mW DFB sources, or optional 10 mW/20 mW DFB lasers with at least 30 dB side mode suppression ratio. Each system comes in either a half-rack or full-rack 2U enclosure, supports common connector types (SC, LC, FC, ST, etc.), and offers USB and Ethernet communication interfaces for automation integration. Thanks to excellent power and wavelength stability, no calibration is required unless specified by quality processes.
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