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组合脉冲激光沉积系统 激光器模块和系统

组合脉冲激光沉积系统

分类: 激光器模块和系统

厂家: Neocera Inc

产地: 美国

型号: Combinatorial Pulsed Laser Deposition System

更新时间: 2026-02-10T08:00:01.000Z

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Combinatorial Pulsed Laser Deposition (PLD) 系统是一种独立的交钥匙解决方案,能够实现二元、三元和四元相图的连续成分分布沉积。该系统无需后退火和掩膜,支持在高温和高真空条件下进行薄膜生长,适用于外延薄膜、多层异质结构和超晶格的沉积。

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概述

Combinatorial Pulsed Laser Deposition (PLD) 系统是一种独立的交钥匙解决方案,能够实现二元、三元和四元相图的连续成分分布沉积。该系统无需后退火和掩膜,支持在高温和高真空条件下进行薄膜生长,适用于外延薄膜、多层异质结构和超晶格的沉积。

参数

  • 基板尺寸 / Substrate Sizes : 2" 标准,4" 和 6" 可选
  • PLD腔室尺寸 / PLD Chamber Size : 12" 或 18" 直径球形腔室
  • 基础真空 / Base Vacuum : 5×10^-7 Torr(标准),5×10^-9 Torr(升级)
  • 基片加热 / Substrate Heating : 850°C(2" 和 4" 基片),750°C(6" 基片)
  • 靶材转盘 / Target Carousel : 6×1" 直径
  • 工艺气体 / Process Gases : O2, N2, Ar(MFC 控制)
  • 基片掩膜 / Substrate-Masks : 仅适用于1cm×1cm基片
  • 装载锁 / Load-Locks : 用于基片
  • 自动化 / Automation : Windows 7, LabView 2013

应用

1. 材料科学研究 2. 外延薄膜沉积 3. 多层异质结构和超晶格的制备 4. 高温氧化物薄膜沉积

特征

1. 独立的交钥匙组合PLD系统 2. 支持二元、三元和四元相图的连续成分分布沉积 3. 无需后退火和掩膜 4. 支持高温(如800°C)和高真空(如500mTorr)条件下的薄膜生长 5. 标准基片尺寸为2",可定制4"和6" 6. 支持外延薄膜、多层异质结构和超晶格的沉积 7. 兼容高温氧化物薄膜沉积的氧气环境

图片集

Combinatorial Pulsed Laser Deposition System图1
Combinatorial Pulsed Laser Deposition System图2
Combinatorial Pulsed Laser Deposition System图3
Combinatorial Pulsed Laser Deposition System图4
Combinatorial Pulsed Laser Deposition System图5
Combinatorial Pulsed Laser Deposition System图6
Combinatorial Pulsed Laser Deposition System图7
Combinatorial Pulsed Laser Deposition System图8
Combinatorial Pulsed Laser Deposition System图9

规格书

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厂家介绍

Neocera由Venkatesan博士于1989年创建,是一种商业工具,用于利用脉冲激光沉积(PLD)技术输送复杂多组分金属氧化物薄膜材料的技术专业知识。我们继续开发PLD设备和工艺,为客户带来高价值的产品。我们仍然积极参与材料研究,领导PLD在新材料系统中的应用,并直接参与PLD工艺从研究实验室向工业市场的过渡。我们在2001年将脉冲电子沉积(PED)作为PLD的补充技术。我们的使命是成为研究人员和制造商PLD和PED设备的较好选择。我们的PLD\/PED系统可在全球30多个国家的大学、国家研究实验室和企业研发中心找到。

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图片 名称 分类 制造商 参数 描述
  • Tunable Laser 激光器模块和系统 可调谐激光器 激光器模块和系统 镇江微莱特光电科技有限公司

    电源: 16mW 调谐范围: 40nm

    我司可调谐激光器模块主要用于:光纤传感、OCT、WDM器件测试、PMD 和 PDL 测量、科研等多种领域。 具有:线宽窄、超高调谐速率和调谐线性度、边模抑制比高、偏振消光比高、噪声小、波长调谐范围广、高低温环境下可靠性高等特点。

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    A high-performance tunable laser designed for precision optical testing and measurement.

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