亚波长孔径和双缝自由站立金膜的异常光传输

1：实验设计与方法选择：

研究通过制备具有7×7亚波长孔阵列的独立金薄膜及双缝混合结构来探究光传输现象。设计原理旨在避免基底效应，并通过等离子体耦合与相长干涉增强透射。理论模型包含表面等离极化激元（SPPs）和色散关系。

2：样本选择与数据来源：

样本包括7×7孔阵列金薄膜（孔径约200纳米，间距：530/780/1060纳米）、校准孔（直径约15微米）及双缝混合结构。数据源自倒置光学显微镜与光谱仪测量的光学透射光谱。

3：实验设备与材料清单：

设备：电子束蒸发仪（用于金沉积）、聚焦离子束（FIB）（双束Helios，FEI）用于穿孔、场发射扫描电镜（FE-SEM）（JSM 6400，JEOL）用于成像、倒置光学显微镜（Eclipse Ti，尼康）搭配光谱仪（SpectraPro 2300i（150克/毫米），普林斯顿仪器）、宽带白光卤素灯。材料：200纳米厚金膜、10纳米厚氮化硅（SiN）薄膜。

4：实验流程与操作步骤：

步骤：使用电子束蒸发仪在10纳米SiN薄膜上沉积200纳米金；干法刻蚀SiN薄膜；采用FIB穿孔与开缝；通过FE-SEM成像结构；利用倒置显微镜与卤素灯光源的光谱仪测量光传输；通过校准孔将透射光谱归一化为单位面积。

5：数据分析方法：

通过将样本透射光谱归一化至校准孔单位面积计算单位面积归一化透射光谱。通过计算总透射率比值进行对比分析。