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自组装图案化技术实现印刷电子器件的润湿性调控

DOI:10.7567/1347-4065/ab00e4 期刊:Japanese Journal of Applied Physics 出版年份:2019 更新时间:2026-01-09 18:48:08
摘要: 我们研究了自组装单分子层(SAMs)作为可印刷电子器件栅极绝缘层的疏水/亲水图案化方法。先前研究表明,疏水/亲水图案化会损伤基底表面,因此主要应用于电极而非半导体。我们通过氧等离子体或真空紫外处理部分去除疏水SAM的烷基链,并用亲水分子替代,从而降低了损伤。该亲水区域采用室温工艺形成,最终获得了溶液法制备的有机晶体管,在2.5V工作电压下迁移率达2×10⁻² cm² V⁻¹ s⁻¹。若不进行SAM替换,该晶体管仍能保持54%的迁移率。通过集成同法制备的p型晶体管,我们实现了2V工作电压的有机反相器和环形振荡器,其增益为30,振荡频率为3.1Hz。
作者: Kazunori Kuribara,Taiki Nobeshima,Atsushi Takei,Takehito Kodzasa,Sei Uemura,Manabu Yoshida
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研究概述 实验方案 设备清单

研究自组装单分子层(SAMs)作为可印刷电子器件栅极绝缘层的疏水/亲水图案化方法,以减少对基底表面的损伤并实现低压操作。

该研究成功开发出一种用于印刷电子中疏液/亲液图案化的SAM替代技术,相比先前方法降低了迁移率退化,并使有机电路能在低电压(2V)下运行。该方法通过VUV处理实现精确图案化,成功制备出功能性反相器和环形振荡器,显示出未来在表面改性和大面积电子器件应用中的潜力。

该方法因采用短链亲水性自组装单分子层(Ph-C2-PA)导致晶体管出现显著迟滞现象,这可能源于其较低的表面密度及对水分子的吸附作用,从而引发陷阱态。迁移率退化问题仍然存在(与先前紫外光处理达到的77%相比,当前仅为46%),且器件特性会因半导体薄膜生长方向不同而产生差异。环形振荡器的振荡频率较低(3.1赫兹),这是受限于晶体管开关速度,同时针对更高迁移率的图案优化方案尚未充分探索。

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