基于亚波长二元简单周期结构的太赫兹宽带滤波器

1：实验设计与方法选择：

采用严格耦合波理论与遗传优化算法相结合的方式，对二元简单周期亚波长结构（周期、占空比、槽深）的结构参数进行优化。适应度函数综合考虑了主瓣与旁瓣的平均透射效率误差和平坦度误差。

2：样品选择与数据来源：

该滤波器采用感应耦合等离子体反应离子刻蚀技术在硅衬底上制备，性能测试使用爱德万测试TAS7500系列太赫兹波段超宽带光谱分析系统完成。

3：实验设备与材料清单：

硅衬底（折射率3.42）、感应耦合等离子体反应离子刻蚀系统、爱德万测试TAS7500系列太赫兹光谱分析系统、用于结构表征的扫描电子显微镜。

4：42）、感应耦合等离子体反应离子刻蚀系统、爱德万测试TAS7500系列太赫兹光谱分析系统、用于结构表征的扫描电子显微镜。 实验流程与操作步骤：

4. 实验流程与操作步骤：根据优化参数（周期：127.9微米，占空比：0.414，槽深：29.6微米）设计滤波器，制备后测试其透射效率和3dB带宽，通过多项式拟合测量数据以分析性能。

5：9微米，占空比：

5. 数据分析方法：从实验数据计算透射效率和3dB带宽，采用多项式拟合平滑多峰光谱数据，以便与仿真结果进行准确对比。