研究目的
为压电微机械超声换能器（PMUT）及其前端接口开发一个分析性紧凑模型，该模型定义了机械、电气和声学领域的信号水平，并推导传递函数以与文献测量结果进行对比。
研究成果
压电微机械超声换能器（PMUT）及其前端接口的解析紧凑模型成功定义了机械、电气和声学领域的信号电平，其推导出的传递函数与文献测量结果高度吻合，表明该模型在设计分析中具有良好有效性。
研究不足
该模型依赖于物理尺寸和层叠配置等输入参数，其验证基于与文献测量数据的对比，但可能未涵盖所有可能的变体或实际工况。
[IEEE 2018年第25届国际电子、电路与系统会议(ICECS) - 法国波尔多(2018.12.9-2018.12.12)] 2018年第25届IEEE国际电子、电路与系统会议(ICECS) - 压电微机械超声换能器(PMUTs)接口的解析紧凑模型
DOI：10.1109/icecs.2018.8617862
出版年份：2018
更新时间：2026-01-09 18:45:39
摘要：
压电微机械超声换能器（PMUT）在过去几年中得到了广泛研究，重点聚焦于换能器制造或应用驱动的前端接口。本文提出了一种分析方法，同时考虑PMUT及其前端接口。该方法提供了一个解析紧凑模型，有助于定义PMUT三个物理域（机械、电气和声学）内的不同信号水平。模型输入参数为换能器的物理尺寸及其层叠配置。该模型进一步扩展至包含换能器的模拟前端（AFE）接口。推导出PMUT及其前端的传递函数，与文献中的测量结果相比显示出良好的一致性。
作者：
Mohammed Bedier，Gwenael Bechet，Franck Badets
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