研究目的
为光声成像应用设计、制造并表征压电微机械超声换能器(PMUT)阵列。
研究成果
制造的PMUT阵列显示出光声成像的潜力,其A线响应显示中心频率约为7 MHz,带宽约为4.8 MHz,B模式图像成功成像了所有目标,验证了它们在该领域的应用。
1:实验设计与方法选择:
实验涉及设计和制造具有特定尺寸和材料的80元件线性PMUT阵列,随后进行光声成像特性表征。方法包括采用PZT作为压电层进行制备,并使用琼脂凝胶仿体进行成像验证。
2:样本选择与数据来源:
以嵌入铅笔芯的琼脂凝胶仿体作为成像目标。数据来源于光声A线响应和B模式图像。
3:实验设备与材料清单:
PMUT阵列(80元件线性阵列,每元件含53个单元,单元直径125微米,650纳米厚PZT层)、琼脂凝胶仿体、铅笔芯。
4:实验流程与操作步骤:
通过单PMUT元件采集仿体目标的A线响应来测试制造的PMUT阵列。对元件进行线性扫描记录A线,进而重建B模式图像。
5:数据分析方法:
分析包括从A线响应测量中心频率和带宽,并重建B模式图像以可视化目标。
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PMUT array
80-element linear array with 53 cells per element, 125 μm cell diameter
Used as the transducer for generating and detecting ultrasound in photoacoustic imaging applications.
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Agar gel phantom
Used as a tissue-mimicking medium with embedded pencil leads to simulate imaging targets for validation of the PMUTs in photoacoustic imaging.
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Pencil leads
Embedded in the agar gel phantom to serve as imaging targets for photoacoustic signal generation and detection.
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