使用混合输入输出（HIO）和互相关方法的叠层成像位置校正

1：实验设计与方法选择：

本研究采用模拟评估结合ePIE、HIO和互相关的新方法在叠层成像中校正探针位置的效能。该方法通过顺序迭代实现——先用ePIE进行初始物像估计，再以探针函数作为支撑约束通过HIO重建出射波，最后利用互相关匹配相邻探针位置的重叠区域进行位置校正。

2：样本选择与数据来源：

模拟基于可见光实验参数。所用物像为224×224像素，振幅取自"Camera Man"（0.23至1），相位取自"Pirate"（-0.7π至0.7π）。强度图由网格排列的探针位置（如4×4或8×8）生成，设置特定重叠百分比及随机初始误差。

3：23至1），相位取自"Pirate"（-7π至7π）。强度图由网格排列的探针位置（如4×4或8×8）生成，设置特定重叠百分比及随机初始误差。 实验设备与材料清单：

3. 实验设备与材料清单：模拟配置包含400nm波长、10cm焦距、512×512像素且像元尺寸10µm的探测器，以及半径67.2Δxo的小孔用于探针生成。所用算法包括ePIE、HIO、RAAR和互相关。

4：2Δxo的小孔用于探针生成。所用算法包括ePIE、HIO、RAAR和互相关。 实验流程与操作步骤：

4. 实验流程与操作步骤：(a)执行l次ePIE获取更优物像估计；(b)对每个探针位置进行m次以探针函数为支撑约束的HIO迭代；(c)计算相邻物像部分的重叠区并通过互相关求相对位移；(d)根据互相关极大值更新探针位置；(e)更新物像与探针估计；(f)循环多次迭代。参数：首轮l=10，后续l=5，m=70，HIO反馈参数0.9，总迭代次数5次。

5：9，总迭代次数5次。 数据分析方法：

5. 数据分析方法：通过探针位置RMS误差评估性能，采用不同参数（如HIO迭代次数、重叠率、初始误差、噪声水平）进行收敛性分析，并与强度梯度法对比。统计量包含多次模拟的均值与标准差。