使用复杂光栅的接近光刻大范围纳米对准
作者：
Yan Tang，Junbo Liu，Yong Yang，Song Hu，Lixin Zhao，Xinchun Si
机构：
中国科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室
发布年份：
2019年
更新时间：
2025-04-03 11:19:52
关键词：
莫尔条纹,复杂光栅,接近光刻,纳米对准,频谱分析
摘要：
我们提出了一种用于接近光刻的新型对准方法，该方法具有纳米级精度和数百微米的检测范围。通过这种方法，基于莫尔条纹的复杂光栅实现了粗对准和最终对准。为了在频谱中区分复杂光栅，粗对准和最终对准部分之间没有干扰。在一个图案中，可以分别计算粗标记的调制和最终标记的相位。结合这两个结果，我们可以在大测量范围内以纳米级精度进行对准。此外，我们的测量系统结构简单。通过模拟和实验验证了所提出方法的可行性。
结论：
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实验方法及产品解析：
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名称
分类
制造商
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参数
描述
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DIADEM IR-30
激光器模块和系统
Spark Lasers
类型: Laser System
工作模式: Pulsed Laser
超快激光: Femtosecond Lasers
火花激光器的DIADEM IR-30是一种波长为1030 nm、脉冲能量为40至60µJ的激光器。Diadem IR-30的更多细节可以在下面看到。
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金属涂层的单模光纤。金和铝
光纤
Heracle
纯硅芯材料: Ge-doped silica
模式场直径@1310 nm: 9.2 µm +/- 0.4 µm
模式场直径@1550 nm: 10.4 µm +/- 0.5 µm
该金属涂层单模光纤设计用于在1310 nm和1550 nm波长范围内提供最佳性能，符合G.652 A/B标准。光纤可配备24克拉金或铝涂层，具备直接焊接能力，适用于严苛环境。
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ASE-C-80系列 3通道ASE光源台式设备器
激光器模块和系统
Optilab
波长范围: 1527nm-1565nm
通道数量: 3
输出功率: 20mWmin.,30mWtyp.(Per Channel)
Optilab ASE-C-20-MSA-3是一款基于放大自发辐射（ASE）的三通道宽带光源，专为一般实验室应用设计。适用于光纤电流传感、DWDM元件特性测试等多种应用，具有稳定的输出功率和波长。
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LSM03
光学透镜
索雷博
透镜类型: Objective Lenses
波长范围: 1250 to 1380 nm
来自Thorlabs Inc的LSM03是波长范围为1250至1380nm的光学透镜。有关LSM03的更多详细信息，请参见下文。
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WDMC1850nm波分复用器耦合器
光纤耦合器
Opneti
DSNU: ±5
DSNU: ≥15
DSNU: ≤0.8
该产品是一种波长分复用耦合器，适用于光纤通信系统，提供高效的波长分离和合并功能。
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