电诱导VO2相变垂直结构的微纳米成像及退火效应
作者：
Yifan Meng，Jingxin Sang，Zheng Liu，Xiaofeng Xu，Zhiyong Tan，Chunrui Wang，Binhe Wu，Chang Wang，Juncheng Cao，Xiaoshuang Chen
机构：
东华大学应用物理系，中国科学院上海微系统与信息技术研究所，中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室
发布年份：
2018年
更新时间：
2025-04-03 11:19:52
关键词：
电诱导VO2 MIT的垂直结构,微纳米尺度电流成像,退火过程,VO2薄膜垂直结构,阈值开关电压
摘要：
研究了如何降低电诱导VO2绝缘体-金属相变（MIT）垂直结构的阈值开关电压（Vth）。通过结合电阻随温度变化、X射线光电子能谱测量和导电原子力显微镜的结果，确认了V3+是电诱导VO2薄膜MIT的重要因素。实验表明，随着在H2/N2混合气体中470℃退火时间从0分钟增加到2分钟，V3+含量增加，薄膜表面导电区域增加，薄膜电阻降低，最终导致阈值开关电压降低。然而，当退火时间过长（≥3分钟）时，VO2薄膜的阈值开关行为消失，电流随电压线性增加。
结论：
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实验方法及产品解析：
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名称
分类
制造商
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参数
描述
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DIADEM IR-30
激光器模块和系统
Spark Lasers
类型: Laser System
工作模式: Pulsed Laser
超快激光: Femtosecond Lasers
火花激光器的DIADEM IR-30是一种波长为1030 nm、脉冲能量为40至60µJ的激光器。Diadem IR-30的更多细节可以在下面看到。
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金属涂层的单模光纤。金和铝
光纤
Heracle
纯硅芯材料: Ge-doped silica
模式场直径@1310 nm: 9.2 µm +/- 0.4 µm
模式场直径@1550 nm: 10.4 µm +/- 0.5 µm
该金属涂层单模光纤设计用于在1310 nm和1550 nm波长范围内提供最佳性能，符合G.652 A/B标准。光纤可配备24克拉金或铝涂层，具备直接焊接能力，适用于严苛环境。
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ASE-C-80系列 3通道ASE光源台式设备器
激光器模块和系统
Optilab
波长范围: 1527nm-1565nm
通道数量: 3
输出功率: 20mWmin.,30mWtyp.(Per Channel)
Optilab ASE-C-20-MSA-3是一款基于放大自发辐射（ASE）的三通道宽带光源，专为一般实验室应用设计。适用于光纤电流传感、DWDM元件特性测试等多种应用，具有稳定的输出功率和波长。
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LSM03
光学透镜
索雷博
透镜类型: Objective Lenses
波长范围: 1250 to 1380 nm
来自Thorlabs Inc的LSM03是波长范围为1250至1380nm的光学透镜。有关LSM03的更多详细信息，请参见下文。
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WDMC1850nm波分复用器耦合器
光纤耦合器
Opneti
DSNU: ±5
DSNU: ≥15
DSNU: ≤0.8
该产品是一种波长分复用耦合器，适用于光纤通信系统，提供高效的波长分离和合并功能。
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