激光器模块和系统

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  • 紧凑型EXCIMER激光器CEX-100 ArF 激光器模块和系统

    紧凑型EXCIMER激光器CEX-100 ArF

    爱沙尼亚
    厂家:LDI Innovation
    波长: 193nm, 248nm, 308nm 脉冲能量: 4.0mJ, 5.0mJ, 2.0mJ 平均功率: 350mW, 500mW, 200mW 光束尺寸[mm]: 3.0×0.3mm 脉冲持续时间: 5ns

    CEX-100是一款超紧凑型准分子激光器,集成了电源、单气体光学和卤素兼容结构,适用于多种工业和科研应用。

  • 紧凑型EXCIMER激光器CEX-100 XeCl 激光器模块和系统

    紧凑型EXCIMER激光器CEX-100 XeCl

    爱沙尼亚
    厂家:LDI Innovation
    波长: 193nm, 248nm, 308nm 脉冲能量: 4.0mJ, 5.0mJ, 2.0mJ 平均功率: 350mW, 500mW, 200mW 光束尺寸[mm]: 3.0×3.0mm 光束发散角: 3.5×2.0mrad

    CEX-100是同功率等级中最紧凑的准分子激光器,设计为单一空气冷却单元,集成电源、交流输入电压、长寿命氪灯、单片光学元件和卤素兼容结构。

  • 紧凑型EXCIMER激光器CEX-100 KrF 激光器模块和系统

    紧凑型EXCIMER激光器CEX-100 KrF

    爱沙尼亚
    厂家:LDI Innovation
    波长: 193nm, 248nm, 308nm 脉冲能量: 4.0mJ, 5.0mJ, 2.0mJ 平均功率: 350mW, 500mW, 200mW 光束尺寸[mm]: 3.0×3.0mm 光束发散角: 3.5×2.0mrad

    CEX-100是同类产品中最紧凑的准分子激光器,设计为单一空气冷却单元,集成电源、交流输入电压、长寿命氪灯、单片光学元件和卤素兼容结构。